東芝、キヤノンと共同開発の次世代露光装置を17年度から半導体メモリー量産に導入｜ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
活況の半導体露光…ASML独走を追うキヤノン・ニコン、三者三様の開発戦略｜ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
5千億円投入しTSMC誘致も、日本の半導体シェアは上がらない…経産省の自己矛盾
キヤノン株式会社 宇都宮事業所
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新たな成長分野の誘致を強化、優良企業の立地が加速する | 広告企画 | ダイヤモンド・オンライン
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半導体工場ハンドブック 2021 (発売日2020年12月07日) | 雑誌/定期購読の予約はFujisan
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